Phổ tán sắc năng lượng tia X viết tắt là EDX hay EDS (tiếng Anh: Energy-dispersive X-ray spectroscopy), là kỹ thuật phân tích thành phần hóa học của vật rắn dựa vào việc ghi lại phổ tia X phát ra từ vật rắn do tương tác với các bức xạ mà chủ yếu là chùm điện tử có năng lượng cao trong các kính hiển vi điện tử. Có ba biến thể đo như dưới đây[15].

• Phổ điện tử Auger (AES, Auger Electron Spectroscopy): thay vì phát ra các tia X đặc trưng, khi các điện tử có năng lượng lớn tương tác với lớp điện tử sâu bên trong nguyên tử sẽ khiến một số điện tử lớp phía ngoài bị bật ra tạo ra phổ AES.
• Phổ huỳnh quang tia X (XPS, X-ray Photoelectron Spectroscopy): tương tác giữa điện tử và chất rắn gây phát ra phổ huỳnh quang của tia X, có thêm các thông tin về năng lượng liên kết.
• Phổ tán sắc bước sóng tia X (WDS, X-ray Wavelength-Dispersive Spectroscopy): tương tự như phổ EDX nhưng có độ tinh cao hơn, có thêm thông tin về các nguyên tố nhẹ, nhưng lại có khả năng loại nhiễu tốt hơn EDS và chỉ phân tích được một nguyên tố cho một lần ghi phổ.